化学工学会/編集 -- 朝倉書店 -- 1991.6 -- 571.6

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
書庫5門 R/571/Ka16/ 0010092038655 常備図書 貸出中

資料詳細

タイトル1 CVDハンドブック 
著者1 化学工学会 /編集  
出版年 1991.6
出版者 朝倉書店
一般件名 化学蒸着‐便覧
ページ数 800,18p
大きさ 22cm
ISBN 4-254-25234-X
NDC分類(10版) 571.6
内容紹介 CVDは気体原料から薄膜や微粒子などの固体を合成する技術の総称であり、プロセスのどこかに化学反応が関係する。まだ十分に体系化が進んでいないCVDを専門とした、はじめてのハンドブック。