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低温プラズマ材料化学   貸出可

長田義仁／編著 -- 産業図書 -- １９９４．３ -- 501.4

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
書庫５門 /501/Ｏ７２/ 0010094019597 一般図書 書架

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タイトル１ 低温プラズマ材料化学 
著者１ 長田義仁 ／編著  
出版年 １９９４．３
出版者 産業図書
一般件名 工業材料 , プラズマ物理学
ページ数 ２９６ｐ
大きさ ２２ｃｍ
ISBN 4-7828-2053-4
NDC分類(10版) 501.4
内容紹介 １．低温プラズマによる物質創製の意義　２．プラズマの化学　３．プラズマＣＶＤ　４．イオンプレ－ティング　５．スパッタリング　６．プラズマ重合　７．プラズマ表面処理　８．プラズマエッチング

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