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超微細加工技術   貸出可

徳山巍／編著 -- オ－ム社（発売） -- １９９７．２ -- 549.8  (応用物理学シリ－ズ )

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
書庫５門 /549/Ｔｏ４５/ 0010097005165 一般図書 書架

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タイトル１ 超微細加工技術 
著者１ 徳山巍 ／編著  
出版年 １９９７．２
出版者 オ－ム社（発売）
シリーズ名 応用物理学シリ－ズ  
一般件名 半導体
ページ数 ３０９ｐ
大きさ ２２ｃｍ
ISBN 4-274-02332-X
NDC分類(10版) 549.8
内容紹介 １．序論　２．光リソグラフィ技術　３．電子線リソグラフィ技術　４．イオンビ－ムリソグラフィ技術　５．Ｘ線リソグラフィ技術　６．レジスト材料　７．エッチング技術　８．形状シミュレ－ション技術　ほか１章

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