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電子・イオンビ－ムハンドブック  第３版 貸出可

日本学術振興会第１３２委員会／編 -- 日刊工業新聞社 -- １９９８．１０ -- 549.1

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
書庫５門 /549/Ｎ７１/ 0010098148529 一般図書 書架

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タイトル１ 電子・イオンビ－ムハンドブック 
著者１ 日本学術振興会第１３２委員会 ／編  
版表示 第３版
出版年 １９９８．１０
出版者 日刊工業新聞社
一般件名 電子線‐便覧 , イオンビ－ム‐便覧
ページ数 ９６３ｐ
大きさ ２２ｃｍ
ISBN 4-526-04247-1
NDC分類(10版) 549.1
内容紹介 ある特定の方向に有限断面を保って移動する電子またはイオンの集団である電子・イオンビ－ム。その軌道論、空間電荷効果と走行時間効果、照射効果、加工、リソグラフィなどについて解説する。７３年刊の第３版。

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