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半導体の化学   貸出可

逢坂哲弥／〔ほか〕著 -- 朝倉書店 -- １９９６．１２ -- 428.8  (先端材料のための新化学 ９)

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
書庫４門 /428/Ｏ７３/ 0010000012675 一般図書 書架

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タイトル１ 半導体の化学 
著者１ 逢坂哲弥 ／〔ほか〕著  
出版年 １９９６．１２
出版者 朝倉書店
シリーズ名 先端材料のための新化学  ９
一般件名 半導体
ページ数 １８６ｐ
大きさ ２１ｃｍ
ISBN 4-254-25569-1
NDC分類(10版) 428.8
内容紹介 電子材料を中心に利用されている半導体を材料及びプロセスから捉え直し、理論から実際面までを解説。最近注目されているトピックスも紹介しながら、現在のシリコン半導体の役割とこれからの研究の方向性を探る。

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著者紹介

著者紹介１－１ １９４５年群馬県生まれ。早稲田大学大学院理工学研究科博士課程修了。現在、早稲田大学理工学部応用化学科教授。著書に「電気化学法」など。