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半導体製造装置用語辞典  第５版 貸出可

日本半導体製造装置協会／編 -- 日刊工業新聞社 -- ２０００．１１ -- 549.8

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
書庫５門 R/549/Ｎ７１/ 0010000153350 常備図書 書架

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タイトル１ 半導体製造装置用語辞典 
著者１ 日本半導体製造装置協会 ／編  
版表示 第５版
出版年 ２０００．１１
出版者 日刊工業新聞社
一般件名 半導体‐辞典
ページ数 ５８８ｐ
大きさ ２２ｃｍ
ISBN 4-526-04666-3
NDC分類(10版) 549.8
内容紹介 半導体産業の発展は日本の産業基盤強化に大きく寄与し、経済への波及効果も非情に大きい。急速な技術進展を背景に、２１世紀の新技術に適用できる用語辞典をめざす。９７年刊に次ぐ改訂第５版。

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