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荷電粒子ビ－ム工学   貸出可

石川順三／著 -- コロナ社 -- ２００１．５ -- 549.1

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
書庫５門 /549/Ｉ７６/ 0010001092017 一般図書 書架

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タイトル１ 荷電粒子ビ－ム工学 
著者１ 石川順三 ／著  
出版年 ２００１．５
出版者 コロナ社
一般件名 電子線 , イオンビ－ム
ページ数 ３０２ｐ
大きさ ２１ｃｍ
ISBN 4-339-00734-X
NDC分類(10版) 549.1
内容紹介 電子およびイオンの荷電粒子の発生、ビ－ム輸送・操作と、それらを用いた材料プロセス、荷電粒子ビ－ムと固体との相互作用の入門的記述を加えつつ、電子およびイオンビ－ム技術の基本となる基礎現象の物理的意味を平易に解説。

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著者紹介

著者紹介１－１ 京都大学大学院電気工学第二専攻修士課程修了。工学博士。同大学教授。