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ビジュアル真空技術   貸出可

平谷雄二／著 -- コロナ社 -- ２００１．１０ -- 534.93

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
書庫５門 /534/Ｈ６８/ 0010001131376 一般図書 書架

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タイトル１ ビジュアル真空技術 
著者１ 平谷雄二 ／著  
出版年 ２００１．１０
出版者 コロナ社
一般件名 真空技術
ページ数 １９３ｐ
大きさ ２１ｃｍ
ISBN 4-339-00736-6
NDC分類(10版) 534.93
内容紹介 真空装置を使って結晶成長、薄膜を形成する研究室や職場に新しく配属された人を対象にした書。真空装置の心臓部のポンプと感覚器官にあたる真空計について述べる。真空技術でよく使われる式を導出し、適宜演習問題を付す。

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著者紹介

著者紹介１－１ 東北大学大学院工学研究科博士課程修了（電子工学専攻）。古河電気工業（株）入社、現在に至る。東北大学工学博士。