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    高木博史
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超微細加工の基礎  第２版 貸出可

麻蒔立男／著 -- 日刊工業新聞社 -- ２００１．９ -- 549.8

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
書庫５門 /549/Ａ８６/ 0010001137084 一般図書 書架

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タイトル１ 超微細加工の基礎 
副タイトル１ 電子デバイスプロセス技術
著者１ 麻蒔立男 ／著  
版表示 第２版
出版年 ２００１．９
出版者 日刊工業新聞社
一般件名 半導体
ページ数 ２９５ｐ
大きさ ２１ｃｍ
ISBN 4-526-04812-7
NDC分類(10版) 549.8
内容紹介 半導体部品の製造に使われる加工技術には、非常に多くの微細加工技術が集成され成り立っている。より要求が高まり、加工上の課題も多い超微細加工技術の基礎から応用を平易に解説。９３年刊の第２版。

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著者紹介

著者紹介１－１ 昭和９年愛知県生まれ。静岡大学工学部電子工学科卒業。日電アネルバ（株）取締役、東京理科大学教授等を務めた。著書に「真空のはなし」「やさしい電気磁気学」など。