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ＶＬＳＩプロセス技術  第２版 貸出可

小林稔／著 -- 日刊工業新聞社 -- ２００２．３ -- 549.7

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
書庫５門 /549/Ｋｏ１２/ 0010002056848 一般図書 書架

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タイトル１ ＶＬＳＩプロセス技術 
副タイトル１ 高歩留りのための問題点とその解決
著者１ 小林稔 ／著, 中島蕃 ／著, 垂井康夫 ／監修  
版表示 第２版
出版年 ２００２．３
出版者 日刊工業新聞社
一般件名 集積回路
ページ数 １６９ｐ
大きさ ２２ｃｍ
ISBN 4-526-04905-0
NDC分類(10版) 549.7
内容紹介 ＬＳＩ製造プロセス開発で発生するプロセストラブルを主体に具体的事例を系統的に示すとともに、ＬＳＩの故障解析技術について現状も含めて解説。製造プロセス技術の評価と検討、後工程についても追加した、９３年刊の第２版。

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著者紹介

著者紹介１－１ 元日本電信電話会社、ＮＥＬ勤務。工学博士。
著者紹介１－２ ＮＴＴを経てＮＥＬ入社。同ＳＡセンタ－センタ－長。