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光マイクロマシン   貸出可

沢田廉士／共著 -- オ－ム社（発売） -- ２００２．１１ -- 549.95

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
書庫５門 /549/Ｓａ９３/ 0010003019437 一般図書 書架

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タイトル１ 光マイクロマシン 
著者１ 沢田廉士 ／共著, 羽根一博 ／共著, 日暮栄治 ／共著  
出版年 ２００２．１１
出版者 オ－ム社（発売）
一般件名 オプトエレクトロニクス , マイクロマシン
ページ数 ４２４ｐ
大きさ ２２ｃｍ
ISBN 4-274-03589-1
NDC分類(10版) 549.95
内容紹介 半導体微細加工技術の応用により、急速な発展を遂げているマイクロマシン技術。最新の光マイクロマシンを例に、光学を学ぶとともに、根底にある課題の抽出や、新しい光マイクロマシンの提案、設計ができる基礎を学ぶ。

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著者紹介

著者紹介１－１ 九州大学大学院修士課程修了。現在、ＮＴＴマイクロシステムインテグレ－ション研究所勤務。
著者紹介１－２ 名古屋大学大学院博士後期課程修了。現在、東北大学大学院工学研究科教授。