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進化するマイクロマシン   貸出可

マイクロマシンセンタ－／監修 -- 日刊工業新聞社 -- ２００４．１１ -- 530

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
書庫５門 /530/Ｍａ３１/ 0010004084850 一般図書 書架

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タイトル１ 進化するマイクロマシン 
副タイトル１ 産業化のロ－ドマップとナノとの融合
著者１ マイクロマシンセンタ－ ／監修, μＭ産業化研究会 ／編  
出版年 ２００４．１１
出版者 日刊工業新聞社
一般件名 マイクロマシン
ページ数 ２９５ｐ
大きさ ２１ｃｍ
ISBN 4-526-05227-2
NDC分類(10版) 530
内容紹介 マイクロマシン産業化のこれまでの展開や、ＭＥＭＳ・デバイス技術などマイクロマシン技術の現状と展望、ナノテクノロジ－との融合、応用分野の将来展望などから、今後ますます「進化する」マイクロマシン技術を解説。

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