資料詳細

  • 1 件中、 1 件目

半導体製造装置用語辞典  第６版 貸出不可

日本半導体製造装置協会／編 -- 日刊工業新聞社 -- ２００６．９ -- 549.8

所蔵

所蔵は 1 件です。現在の予約件数は 0 件です。

所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
常備図書 R/549/Ｎ７１/ 0010006133533 常備図書 禁帯 書架

ページの先頭へ

資料詳細

タイトル１ 半導体製造装置用語辞典 
著者１ 日本半導体製造装置協会 ／編  
版表示 第６版
出版年 ２００６．９
出版者 日刊工業新聞社
一般件名 半導体‐辞典
ページ数 １０，５６４ｐ
大きさ ２１ｃｍ
ISBN 4-526-05740-1
NDC分類(10版) 549.8
内容紹介 設計、マスク製作、ウェ－ハ製造、検査、設備・環境工程など、半導体デバイスを製造する７つの工程順に用語を分類・配列。製造フロ－チャ－トと各工程毎の用語の構成表も掲載。新しい技術用語を２１５語追加した第６版。

ページの先頭へ