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カラ－図解クリ－ンル－ムがわかる本貸出可

大成建設（株）クリ－ンル－ム技術研究会／著 -- 日本実業出版社 -- ２００８．２ -- 528.2 (ＶＩＳＵＡＬ　ＥＮＧＩＮＥＥＲＩＮＧ )

所蔵

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所蔵場所	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態
書庫５門	/528/Ｔａ２４/	0010007197203	一般図書		書架

タイトル１	カラ－図解クリ－ンル－ムがわかる本
著者１	大成建設（株）クリ－ンル－ム技術研究会／著
出版年	２００８．２
出版者	日本実業出版社
シリーズ名	ＶＩＳＵＡＬ　ＥＮＧＩＮＥＥＲＩＮＧ
一般件名	クリ－ンル－ム
ページ数	１４９ｐ
大きさ	２１ｃｍ
ISBN	4-534-04313-9
NDC分類(10版)	528.2
内容紹介	半導体や各種電子部品などの微細加工製品のほか、医薬品や食料品など生活に密着した多くの製品の製造に不可欠なクリ－ンル－ム。基礎から特徴、設計、対策まで、そのしくみと技術を図解を交えて紹介する。