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半導体ＣＭＰ用語事典貸出不可

精密工学会プラナリゼ－ションＣＭＰとその応用技術専門委員会／編 -- オ－ム社（発売） -- ２００８．１０ -- 549.7

所蔵

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所蔵場所	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態
常備図書	R/549/Ｓｅ１８/	0010008135994	一般図書	禁帯	書架

タイトル１	半導体ＣＭＰ用語事典
著者１	精密工学会プラナリゼ－ションＣＭＰとその応用技術専門委員会／編
出版年	２００８．１０
出版者	オ－ム社（発売）
一般件名	集積回路‐辞典
ページ数	７，２６２ｐ
大きさ	１９ｃｍ
ISBN	4-274-20612-2
NDC分類(10版)	549.7
内容紹介	加工技術・装置、洗浄・洗浄化技術、計測・評価技術、デバイス化技術などの各分野について、半導体ＣＭＰ技術・工程に関連する重要用語約４５０語を、図表・デ－タを用いてわかりやすく解説する。