橘邦英/編著 -- オ-ム社(発売) -- 2009.3 -- 427.6

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
科学産業 /427/Ta13/ 0010009028774 一般図書 書架

資料詳細

タイトル1 マイクロプラズマ 
副タイトル1 基礎と応用
著者1 橘邦英 /編著, 石井彰三 /編著, 寺嶋和夫 /編著, 白藤立 /編著  
出版年 2009.3
出版者 オ-ム社(発売)
一般件名 プラズマ物理学
ページ数 10,260p
大きさ 22cm
ISBN 4-274-20703-7
NDC分類(10版) 427.6
内容紹介 ミクロな領域でのプラズマが有する新しい特性を、従来のプラズマの特性と比較しながら概説し、その生成に関する固有の方法や、特性を評価するための診断など、いろいろな新しい応用技術の現状について紹介する。

著者紹介

著者紹介1-1 京都大学大学院工学研究科博士課程修了。同大学大学院工学研究科電子工学専攻教授。
著者紹介1-2 東京工業大学大学院理工学研究科博士課程修了。同大学大学院理工学研究科電気電子工学専攻教授。