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マイクロセンサ工学   貸出可

室英夫／編著 -- 技術評論社 -- ２００９．８ -- 501.22  (現場の即戦力 )

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
科学産業 /501/Ｍｕ７１/ 0010011361226 一般図書 書架

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タイトル１ マイクロセンサ工学 
著者１ 室英夫 ／編著, 藍光郎 ／著, 石垣武夫 ／著, 石森義雄 ／著, 岡山努 ／著  
出版年 ２００９．８
出版者 技術評論社
シリーズ名 現場の即戦力  
一般件名 センサ
ページ数 １２，２３４ｐ
大きさ ２１ｃｍ
ISBN 4-7741-3904-3
NDC分類(10版) 501.22
内容紹介 センサの基本的な分類と各種変換効果、ＭＥＭＳセンサを製造するためのマイクロマシ－ニング技術、各センサに共通の信号処理回路を解説するほか、「光センサ」「機械量センサ」「流体センサ」など、センサ各論も収録する。

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著者紹介

著者紹介１－１ 東京大学大学院工学研究科修士課程修了。日産自動車（株）中央研究所で半導体センサの研究開発に従事。２００６年より千葉工業大学教授。共著に「次世代センサハンドブック」など。