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「薄膜」のキホン   貸出可

麻蒔立男／著 -- ソフトバンククリエイティブ -- ２０１０．９ -- 549.8  (イチバンやさしい理工系 ＳＢＥ‐００６)

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
書庫５門 /549/Ａ８６/ 0010010105689 一般図書 書架

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資料詳細

タイトル１ 「薄膜」のキホン 
副タイトル１ 原子に迫る超微細・超高密度の世界
著者１ 麻蒔立男 ／著  
出版年 ２０１０．９
出版者 ソフトバンククリエイティブ
シリーズ名 イチバンやさしい理工系  ＳＢＥ‐００６
一般件名 薄膜
ページ数 １９０ｐ
大きさ ２１ｃｍ
ISBN 4-7973-5713-4
NDC分類(10版) 549.8
内容紹介 薄膜技術の注目ポイントをやさししく図解した入門書。真空の中でプラズマを利用して、新しい素材をつくる薄膜技術で、どのような世界がみえてくるのかを紹介する。

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著者紹介

著者紹介１－１ １９３４年愛知県生まれ。静岡大学工学部電子工学科卒業。９０～２０１０年まで東京理科大学教授ならびに同嘱託教授。日本真空協会個人理事。工学博士。著書に「真空のはなし」など。