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薄膜工学  第２版 貸出可

金原粲／監修 -- 丸善出版（発売） -- ２０１１．６ -- 549.8

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
科学産業 /549/Ｋｉ４１/ 0010011351435 一般図書 書架

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タイトル１ 薄膜工学 
著者１ 金原粲 ／監修, 吉田貞史 ／編著, 近藤高志 ／編著, 日本学術振興会薄膜第１３１委員会 ／編集企画  
版表示 第２版
出版年 ２０１１．６
出版者 丸善出版（発売）
一般件名 薄膜
ページ数 １２，２９５ｐ
大きさ ２１ｃｍ
ISBN 4-621-08414-4
NDC分類(10版) 549.8
内容紹介 薄膜技術の基本事項から、微細加工技術を用いた２次元・３次元微細構造の導入や基板の大型化・高速化を可能にした装置技術、新しい薄膜作製手法、原子・分子スケ－ルでの測定技術まで、分かりやすく解説する。

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