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はじめての半導体製造装置   貸出可

前田和夫／著 -- 技術評論社 -- ２０１１．８ -- 549.8  (現場の即戦力 )

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
書庫５門 /549/Ｍａ２６/ 0010011359371 一般図書 書架

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タイトル１ はじめての半導体製造装置 
著者１ 前田和夫 ／著  
出版年 ２０１１．８
出版者 技術評論社
シリーズ名 現場の即戦力  
一般件名 半導体
ページ数 １１，２４９ｐ
大きさ ２１ｃｍ
ISBN 4-7741-4750-5
NDC分類(10版) 549.8
内容紹介 半導体デバイスの製造工程との関わりから、技術史、種類と役割、構成と方式、各装置の概要まで、半導体製造装置に関わる知識を解説。半導体製造装置技術のロ－ドマップ、２１世紀の半導体製造装置なども紹介する。

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著者紹介

著者紹介１－１ 横浜国立大学工学部化学工学科卒業。工学博士。（株）半導体プロセス研究所設立。米国ＳＥＭＩ（半導体装置材料協会）よりＳＥＭＭＹ賞授与。２００８年逝去。