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半導体・電子材料分析   貸出可

日本分析化学会／編 -- 丸善出版（発売） -- ２０１３．７ -- 549.8  (試料分析講座 )

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
書庫５門 /549/Ｎ７１/ 0010013360934 一般図書 書架

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タイトル１ 半導体・電子材料分析 
著者１ 日本分析化学会 ／編  
出版年 ２０１３．７
出版者 丸善出版（発売）
シリーズ名 試料分析講座  
一般件名 半導体 , 電子材料 , 分析化学
ページ数 ２１，３００ｐ
大きさ ２１ｃｍ
ISBN 4-621-08700-8
NDC分類(10版) 549.8
内容紹介 半導体・電子材料を用いたナノ構造デバイスの研究開発、不具合診断、製造装置の条件出しなどに用いられる種々の分析法の原理・特徴を解説し、応用・分析例を示す。今後の利用が期待される分析・計測法についても取り上げる。

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