日本学術振興会透明酸化物光・電子材料第166委員会/編 -- オ-ム社(発売) -- 2014.4 -- 549.8

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
科学産業 /549/N71/ 0010014322830 一般図書 書架

資料詳細

タイトル1 透明導電膜の技術 
著者1 日本学術振興会透明酸化物光・電子材料第166委員会 /編  
版表示 改訂3版
出版年 2014.4
出版者 オ-ム社(発売)
一般件名 薄膜 , セラミックス
ページ数 13,424p
大きさ 22cm
ISBN 4-274-21522-3
NDC分類(10版) 549.8
内容紹介 透明導電性酸化物薄膜材料に関する技術解説書。透明導電膜の用途、材料、作製方法、微細加工の方法、測定法や、透明導電膜材料の基本的な性質などについて詳述する。内容を大幅に見直した改訂3版。